淄博特種氣體供應(yīng)廠-安徽譜純氣體公司：

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特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

特氣供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，特種氣體供應(yīng)廠，對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

簡單供氣系統(tǒng)

簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺的工藝設(shè)備等。它們的制程簡單，通常不需要連續(xù)性供氣，對氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。

惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

特種氣體：氦氣

液氦的沸點(diǎn)極低（4.25K），使其成為高科技領(lǐng)域的寵兒：一是低溫超導(dǎo)。液氦溫度極低，可為超導(dǎo)磁體提供低溫環(huán)境，其中應(yīng)用廣的為磁共振成像（MRI）。醫(yī)1院核磁共1振成像儀的核心大都是超導(dǎo)磁體，只有在液氦的低溫下才能穩(wěn)定運(yùn)行，產(chǎn)生穩(wěn)定的磁場，保證高分辨率成像。二是低溫冷卻。

液氦廣泛用于原子反應(yīng)堆的冷卻介質(zhì)和清洗劑。三是測溫。由于氦氣的液化溫度很低，接近于絕1對零度，故其測溫范圍很廣，多用于精密測量。

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